相关文章

千级无尘室净化工程如何防止微粒子污染

微粒子污染是半导体制程中最关键和最基本的问题。在千级无尘室净化工程实际的生产现场,一般由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边会扬起少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染,造成产品良率降低甚至报废。千级无尘室净化工程

该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列几项基本原则。

1、不携入

千级无尘室净化工程不携入微粒子的方法有:作业员进入千级无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;进入千级无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入千级无尘室。机器及材料带进千级无尘室前,应尽可能在密封状态下,经风淋室吹淋后才进入千级无尘室。

2、不发生

在控制最大污染源—人在千级无尘室内的微粒子发尘量的同时,也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。千级无尘室净化工程中,因物品在移动时,所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘,而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策:减少接触剥离发尘的动作形态;采用磨耗发尘小的材质;采用发尘小的润滑油;机台应用空压浮上的非接触化工作原理。

3、不储备

若能彻底实施“不携入”技术,千级无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的千级无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。千级无尘室净化工程要保证气流的流通路径畅通无阻,因为在流通路径中有障碍物的话,容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域,使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内,而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。

控制气流也可防止微粒子累积,但对于带电表面的微粒累积就无法防止。实施净化工程时,为了防止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电,则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料,并藉由除电装置进行除电。